隨著污染物對設(shè)備的制造和操作影響很大，尤其進來發(fā)展高密度微型電子設(shè)備，一個元件比一粒塵埃還小，因而微粒污染物的影響很大。在電子設(shè)備或線路上，即使有微量的金屬屑粒，后果也將是嚴重的。在相鄰的導體之間，那怕粘上一顆金屬粒子也會造成很大的破壞。這會產(chǎn)生短路，或生成離子型物質(zhì)從而造成腐蝕。

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