◆ 概論
氦氣是一種具有較強的科研價值的貴重的稀有氣體，它具有的特性被廣泛地運用到生產、技術、科研領域。由于在自然界內比較稀少而它的價值又高，為了節約生產、技術、科研運行成本，所以使用氦氣的同時，人們又想再利用它的剩余價值，從而提出回收氦氣的思路。當使用過的氦氣在運行過程中會有不同程度的污染，我們可以根據運用時氦氣中帶入的雜質，根據雜質的種類及其性質，采用適當的純化措施，使回收得到的氦氣，又具有初始的純凈。再次投入使用時，仍得到滿意的結果，這樣組建一套氦氣回收裝置是理所當然的措施。
◆ 工作原理
將操作平臺排出含有油份和水份的氣體，經羅茨風機升壓，經過濾器除去大部分油份，進入活性碳過濾器，深度脫除油份，用分子篩除去水份，氦氣由出操作平臺時高油份、水份，經過除油、除水、氦氣達到工作要求。后將凈化后的氦氣送入操作平臺，循環使用。
注：氮氣、氦氣回收裝置一般按照用戶要求，以非標準型號提供，其純度為99.999％以上。
◆ 氦氣回收裝置
冷卻水 冷卻水 排污
380V電源 380V電源
A氦氣收集單元
B氦氣壓縮單元
C氦氣提純單元
D灌充單元
說明:按照氦氣使用壓力，確定B、C單元的位置
◆ 特點
1. 回收氦氣經過濾器過濾后，減少羅茨風機維修量。
2. 再生羅茨風機保證干燥塔的再生效果。
3. 為了還原爐的安全生產和工藝要求，還原爐進出料有連鎖裝置，各閥門的開、關有保護裝置。
