上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 射頻離子源 RFICP 40 : 目前 KRI 射頻離子源 RFICP 系列尺寸小, 低成本高效離子源. 適用于集成在小型的真空腔體內(nèi). 離子源 RFICP 40 設(shè)計(jì)采用創(chuàng)新的柵極技術(shù)用于研發(fā)和開(kāi)發(fā)應(yīng)用. 離子源 RFICP 40 無(wú)需電離燈絲設(shè)計(jì), 適用于通氣氣體是活性氣體時(shí)的工業(yè)應(yīng)用. 標(biāo)準(zhǔn)配置下 RFICP 40 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過(guò) 120 mA.
射頻離子源 RFICP 40 特性:
1.
離子源放電腔 Discharge Chamber, 無(wú)需電離燈絲, 通過(guò)射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).
2.
離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì), 使用更簡(jiǎn)單; 基座可調(diào)節(jié), 有效優(yōu)化蝕刻率和均勻性.
3.
提供聚焦, 發(fā)散, 平行的離子束
4.
離子源自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行
5.
柵極材質(zhì)鉬和石墨,堅(jiān)固耐用
6.
離子源中和器 Neutralizer, 測(cè)量和控制電子發(fā)射,確保電荷中性
KRI 射頻離子源 RFICP 40 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào)
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RFICP 40
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Discharge 陽(yáng)極
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RF 射頻
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離子束流
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>100 mA
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離子動(dòng)能
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100-1200 V
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柵極直徑
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4 cm Φ
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離子束
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聚焦, 平行, 散射
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流量
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3-10 sccm
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通氣
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Ar, Kr, Xe,
O2, N2, H2, 其他
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典型壓力
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< 0.5m Torr
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長(zhǎng)度
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12.7 cm
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直徑
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13.5 cm
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中和器
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LFN 2000
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KRI 射頻離子源 RFICP 40 應(yīng)用領(lǐng)域：
預(yù)清洗
表面改性
輔助鍍膜 (光學(xué)鍍膜 ) IBAD,
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立
Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國(guó)考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國(guó)考夫曼離子源中國(guó)總代理.
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