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國產源表搭建半導體場效應晶體管IV特性測試實驗

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詳細信息國產源表搭建半導體場效應晶體管IV特性測試實驗

半導體分立器件是組成集成電路的基礎,包含大量的雙端口或三端口器件,如二極管,晶體管,場效應管等。 直流I-V測試是表征微電子器件工藝及材料特性的基礎,通常使用I-V特性分析或I-V曲線來決定器件的基本參數。

 

分立器件I-V特性測試的主要目的是通過實驗幫助工程師提取半導體器件的基本I-V特性參數,并在整個工藝流程結束后評估器件的優劣。在半導體制程的多個階段都有應用,如金屬互連,鍍層階段,芯片封裝后的測試等。

 

普賽斯儀表開發的半導體分立器件I-V特性測試方案,由一臺或兩臺源精密源測量單元(SMU)、夾具或探針臺、上位機軟件構成。以三端口MOSFET器件為例,配套以下設備:

兩臺S型數字源表

四根三同軸電纜

夾具或帶有三同軸接口的探針臺

三同軸T型頭


需要測試的參數:
輸出特性曲線

轉移特性曲線

跨導 gm

擊穿電壓 BVDS


需要儀器列表:
SMU 源表

探針臺或夾具

普賽斯上位機軟件


高校相關專業
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