等離子廢氣處理設備是一種新型高端的干法處理有機廢氣的處理設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，更換及維護保養方便，運行成本低廉，是有機廢氣治理zui先進的一項技術。采用等離子處理有機廢氣的企業越來越多，比如用來處理噴塑烘干產生的廢氣、橡膠擠壓時產生的廢氣等，需要根據不同的行業來選擇。
采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，該技術節能、環保，應用范圍廣。利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為:在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
過程一:高能電子的直接轟擊
過程二:O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
過程三:OH自由基的氧化H2O+e→OH+H、H2O+O→2OH、H+O2→OH+O
過程四:分子碎片+氧氣的反應
技術特點:
應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。廢氣收集后，一部分廢氣需要進行預處理，除水后進入等離子體反應區，在高能電子的作用下，使異味分子受激發，帶電粒子或分子間的化學鍵被打斷，同時空氣中的水和氧氣在高能電子轟擊下也會產生OH自由基、活性氧等強氧化性物質，這些強氧化性物質也會與異味分子反應，使其分解，從而促進異味消除。
產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質硫化氫、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫均能有效去除。
