PFA花籃，別名PFA清洗花籃、特氟龍晶片清洗架、PFA顯影花籃等。可在100℃以下的NaOH、HCl、HF等溶液中對(duì)晶圓硅片進(jìn)行清洗、轉(zhuǎn)換，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、多晶硅、太陽(yáng)能、鋰電池、新材料、新能源等行業(yè)。
規(guī)格參考：2寸、2.5寸、3寸、4寸、5寸、6寸等，4寸和6寸帶提手，可承載25片，提供定制化服務(wù)，根據(jù)客戶需求靈活加工。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、外觀透明可視；
2、耐高溫，使用溫度在-200~+260℃；
3、化學(xué)耐受性強(qiáng)，可耐受大部分的化學(xué)溶劑，如強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、HF等；
4、低溶出和析出，金屬元素空白值低，不污染清洗液、晶圓硅片等；
5、采用進(jìn)口高純?cè)希砻婀饣瑹o毛刺，不附著易清洗。
用途：用于半導(dǎo)體硅片、晶片、玻璃、液晶屏等清洗、腐蝕設(shè)備的承載花籃，太陽(yáng)能電池片花藍(lán)、太陽(yáng)能硅片花藍(lán)、太陽(yáng)能硅片承載器、光伏電池片花藍(lán)、光伏硅片花藍(lán)，用于太陽(yáng)能電池硅片清洗設(shè)備中，用于承載方形太陽(yáng)能電池硅片。
