潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修時，應選用氣密性良好，溫度和濕度變化小、污染物濃度符合國家標準規(guī)定的材料。潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵。墻面的涂料面層，應選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易變質發(fā)霉的涂料。潔凈室地面應符合生產(chǎn)工藝要求，應平整，耐磨、易清洗、不開裂，且不易積聚靜電。
潮濕地區(qū)墊層應設有防潮措施。位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地面及施工縫隙均應采取可靠的密閉措施便于防潮。
