基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發生產的SuperViweW1白光干涉三維輪廓儀chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單。
產品特點
1、參數測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積；
2、環境噪聲檢測：實時監測；
3、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器；
4、自動拼接：3軸光柵閉環反饋；
5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振。
性能特征
1、高精度、高重復性
3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。
2、一體化操作的測量分析軟件
測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
（1）軟件防撞保護ZSTOP
即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。
（2）Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。
白光干涉三維輪廓儀chotest讓輪廓測量價格更為實惠，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
